Vanguard Automation Reprise 1000 Series 光阻涂佈(含保护层)清洗机
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产品特色
- 单模光波导及自由曲面微透镜之高精准奈米加工
- 多功能性：后处理适用于各式零件及几何形状。例如：SOI及SiN晶片、InP雷射、SMFs
- 由强大之软体操作工业级机器平台
- 通用之硬体设备与具重构性及功能性之软体
- 一站式解决方案：客製化流程，包含全自动后处理
- 具成本效益之生产：与vanguard SONATA 1000 series搭配可成为全自动化生产
产品信息
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原厂名称
Vanguard Automation GmbH -
英文名称
Reprise 1000 Series -
应用
将各种混合芯片整合一体化 - 优化封装之高效能光互连
- 再现性高之后制程处理
- 高度可扩展之复杂后制程处理
